關鍵字 :
On-line XRF, XRF, Olympus, Rigaku, Smart Dog, On-line Monitor, 線上即時, 液體中元素監控, Auto Dosing, 膜厚, 電鍍銅
先進金屬鍍膜制程中，常見鍍銅Cu、鍍鉻Cr、鍍鉬Mo、鍍鋅Zn、鍍錫Sn、化鎳金Au/Ni、化鎳鈀金Ni/PdAu、鍍金Au…，其中金屬元素主成份、添加劑或工件溶解元素隨著使用次數各種元素會有濃度上的改變，並會直接影響電鍍效益、膜厚(Thickness)及表面品質。
以往常見實驗室分析設備都是定時取樣後再回到生產線作一下動作如停止或補充各種化學品，現在線上即時化(On-line)趨勢明顯已然成形，從化工產業(Petrochemical) 、印電路板(PCB) 、精密電鍍(Coating) 、半導體(Semiconductor), 化學鍍…都會有需要監控化學藥品中的各種金屬元素的濃度，而傳統方式利用XRF、AA、ICP作Off-line或實驗室分析，未來考慮效率、時間成本、良率，全線即時自動化已屬必然趨勢。
Smart Dong On-line XRF 主要是利用XRF快速分析不需要前處理的特點，累積一段時間增加資料量提高S/N比，並利用計算方式使在不同流速下可以得到穩定元素濃度。
新型線上即時系統Smart Dog可以做到
1、多元素同時分析，常用元素Cu、Cr、Zn、Sn、Fe、Si...都可以即時分析；
2、多元素中任一元素濃度可輸出所有元素濃度訊息或超過閥值後加以判斷或進行下一動作；
3、各種流速可以得到穩定多元素濃度訊息；
4、可以多種化學藥品管線，最多可以分析四種槽體液體，使用同一套系統，降低成本，真正達到全自動化。
新型On-line Smart Dog線上即時系統是屬於使用新型XRF技術，已不是只能簡單輸出一個Pass-Fail訊息，而是輸出更精細各元素濃度的訊息作為自動化中最後一環所需的電子訊號，使用客戶可以借由此訊號作為補充添加，稀釋其他化學品補充的正確判斷工具，並可連結鍍銅液補充系統、鍍鉬補充系統、鍍鉻補充系統….各種鍍液補充系統。
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