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CIGS薄型太陽能電池的品管檢測
近年來,太陽能產業發展迅速,不只在技術上,轉換效能、厚度、重量,甚至到太陽能板的製程,都有一些突破性的改變,從以往的矽晶型到現在的薄膜化合物型(EX:非矽晶、CIGS、CdTe…等等),朝向輕薄且高效能的方向邁進。CIGS薄膜太陽能電池,藉由Cu(銅)、In(銦)、Ga(鎵)、Se(硒)四種原料的最佳比例,組成太陽能板的關鍵技術。由於具備光吸收能力佳、發電穩定度高、轉換效率高,整體發電量高、生產成本低以及能源回收期間(Energy payback time) 短等諸多優勢,CIGS太陽能電池已是太陽能產業明日之星,與傳統之晶圓型太陽能電池分庭抗禮。
以CIGS的關鍵技術而言,鍍層的比例會直接影響太陽能板的效能,目前薄型太陽能產業,在技術上還是以”濺鍍”和”共蒸鍍”為主;而CIGS的製程,首先是在玻璃基板上形成鉬的背面電極膜,接著是CIGS光吸收層,高抵抗緩衝層等成膜過程。CIGS的光吸收層製程手法可分為「硒化法」及「共蒸鍍法」兩種。
硒化法是用濺鍍法形成金屬薄膜後,使之與硒(Se)反應的做法;若是使用硫(S)來取代硒,則是稱為「硫化法」;除此之外,還有一些廠商則是使用硒化後再進一步硫化的「SAS(Sulfurization After Selenization)法」。共蒸鍍法,則是在加熱的基板上,將Cu、In、Ga、Se四種元素同時蒸鍍的方法。
CIGS製程比較
順序 | 硒化/硫化法製程 | 共蒸鍍法 |
1 | 玻璃基板準備(切斷,洗淨) ◎通常使用青板玻璃 ◎液晶顯示器用玻璃或不鏽鋼箔也可以使用 |
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2 | 使用濺鍍形成金屬背面極 | |
3 | 形成第一層迴路(雷射刻寫) | |
4 | 鍍上金屬前驅物薄膜(Cu-Ga合金、In) | 形成P型光吸收層(共蒸鍍法) ◎在加熱到550℃左右的基板上,Cu、In、Ga、Se同時蒸鍍 |
5 | 形成P型光吸收層(硒化/硫化法) | |
6 | 形成n型高抵抗ZnO系緩衝層(溶液成長法) | 形成n型高抵抗CdS系緩衝層(溶液成長法) |
7 | 形成第二層迴路(機械刻寫) | |
8 | 形成n型BZO窗層(透明電膜) ◎用MOCVD形成ZnO:B薄膜 |
形成n型AZO窗層(透明導電膜) ◎用濺鍍法形成ZnO:Al薄膜 |
9 | 形成第三層迴路(機械刻寫) | |
10 | 焊接—在電壓上焊上焊球 | |
11 | 封裝—壓合處理 |
![](https://imageproxy.pixnet.cc/imgproxy?url=https://5.blog.xuite.net/_temp/2/5/4/2/da3d428fbdced4efd6cc0f70f12932791386664219360083.jpg)
由於CIGS的比例會影響實際的效能,所以在做品管檢測以及研發時,CIGS的比例數據很重要,目前市面並非所有儀器皆可檢測CIGS的比例,因為鍍層很薄,所以訊號量很少如果要檢測必要靈敏度高的XRF儀器,SEA1000AII & SEA1200VX就可以符合這樣的需求,在檢測上更是屬於非破壞性的檢測,並不會對產品造成任何的影響,未來不管是研發或是品管都可以進行有效的檢測。
以下是CIGS的一些相關實例:
![](https://imageproxy.pixnet.cc/imgproxy?url=https://5.blog.xuite.net/_temp/2/5/4/2/da3d428fbdced4efd6cc0f70f12932791386664261096290.jpg)
圖1.硒化前 ,Cu /In /Ga /Se 測試結果。
![](https://imageproxy.pixnet.cc/imgproxy?url=https://5.blog.xuite.net/_temp/2/5/4/2/da3d428fbdced4efd6cc0f70f12932791386664293495958.jpg)
圖2.硒化前 ,Cu /Ga /Se 測試能譜。
![](https://imageproxy.pixnet.cc/imgproxy?url=https://5.blog.xuite.net/_temp/2/5/4/2/da3d428fbdced4efd6cc0f70f12932791386664316854160.jpg)
圖4.硒化前 ,In測試能譜。
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圖4.硒化後 ,Cu /In /Ga /Se 測試結果。
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圖5.硒化後 ,Cu /Ga /Se 測試能譜。
![](https://imageproxy.pixnet.cc/imgproxy?url=https://5.blog.xuite.net/_temp/2/5/4/2/da3d428fbdced4efd6cc0f70f12932791386664435325238.jpg)
圖6.硒化後 ,In測試能譜。
藉由以上的案例得知,一般XRF在檢測時是將所有照射範圍內的元素都激發出來,Sekio的軟體可以將Cu、In、Ga、Se個別獨立出來偵測,對於應用在已知材料的物質中去做檢測可以有效的分離出來,對於太陽能板的製程以及研究上能夠做有效的支援。(部分資料來源:Nikkei Microdevices )
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